艾默生TESCOM 12系列无弹簧无螺纹调压器
12 系列是一种微型高纯度工业气体 (IGS)/VCR® 减压型调压器。
12 系列提供 5Ra 或 10Ra 微英寸的光洁度，采用束缚阀膜以及内部无弹簧和无螺纹的设计。
进口压力为 150psig/10.3bar，出口压力为 250mm Hg-15、30、60、100psig/250mm Hg-1.0、2.1、4.1、6.9bar，流速可达 120SLPM。
特点
适用于高级 OEM 气体系统的理想产品
高灵敏度压力控制增强质量流量控制器 (MFC) 性能
在广泛应用中提供优越性能
流量：2SCFM 至 120SLPM
在微型元件中提供压降和重复性
膜片与阀体之间采用金属对金属设计，实现密封性
内部表面光洁度为 10Ra 或 5Ra 微英寸
符合 SEMI F19 和 SEMI 模块化接口规格
